ARCNanoSens – infrastructura propusa a fi inclusa in RoadMap2021

 

Echipamente pentru procesarea materialelor:

1) Sistem de tip CrossBeam cu fascicul dublu, de electroni și de ioni focalizaţi (model NEON 40 EsB, Carl Zeiss GmbH), cu detectori EDS, EBSD, SE, BSE și In-Lens (unic în România); 

2) Echipament de corodare cu fascicul de ioni, ATC - 2020-IM (situat în spaţiu cu regim de cameră curatǎ ISO 7);

3) Sistem de polizare cu fascicul de ioni (Precision Ion Polishing, System GATAN Model 691);

4) Instalaţie de depunere straturi subţiri simple şi multistrat (model ATC -2200, AJA International, Inc.) cu 6 ţinte pentru pulverizare catodică, 5 surse pentru evaporare cu fascicul de electroni şi sistem de ablaţie laser, incorporat (situată în spaţiu cu regim de cameră curatǎ ISO 5);

5) Instalaţie de pulverizare în vid, model MSS -6G2-2RF-2DC (Torr International, Inc.) (situată în spaţiu cu regim de cameră curatǎ ISO 7);

6) Sistem de măsurare a grosimii straturilor subțiri (model Alpha Step IQ); 

7) Instalaţie de nanolitografiere cu fascicul de electroni de rezoluţie ultraînaltă (model RAITH eLine Plus) echipată cu sistem de injecţie gaz şi nanomanipulatoare (situată în spaţiu cu regim de cameră curatǎ ISO 5);

8) Sistem de litografiere cu laser, cu diodă (405 nm) și sistem automat de aliniere (model μPG 101 - Heidelberg Instruments GmbH) (situat în spaţiu cu regim de cameră curatǎ ISO 5);

 

Echipamente pentru caracterizarea materialelor:

1) Microscop electronic prin transmisie, de rezoluție ultraȋnaltǎ, cu monocromator, filtru de energie în coloană, corector de imagine Omega,  camera CMOS 4Kx4K, moduri de lucru: nanodifractie, SAED, EELS, EDX, EFTEM, S-TEM şi lentilă Lorentz pentru microscopie Lorentz - unic in Romania (model Libra 200MC, Carl Zeiss GmbH) - cu Licenţă soft Primary jems V4 (28.11.2014);

2) Microscop cu forță atomică (AFM) cu module MFM, EFM, SThM, STYM, conductive - AFM, module de nanoindentare şi nanolitografiere (model Park SYSTEMS XE -100);                                                                     

3) Camerǎ ecranatǎ magnetic (include facilitǎți de ecranare d.c. și a.c. de joasǎ frecvențǎ);

4) Facilităţi de camera curatǎ, cu suprafața totalǎ de 144 mp, zonată ISO 5 - clasa 100 şi respectiv ISO 7 - clasa 10.000 şi utilată corespunzător standardelor internaţionale;

5) Spectroscop Auger cu fascicul de electroni de rezoluţie nanometrică (model JAMP-9510F Field Emission Auger Microprobe / JEOL Ltd.) pentru analiza suprafeţelor și interfeţelor.